传感器以及仪表元器件就是仪器仪表和自动化系统最基本的元器件之一。传感器以及仪表元器件含有服务面广、品种繁多、需求量大等特点,其技术水平以及产品质量的提高,会把我国制造业信息化奠定基础。
现状和问题
我们国家传感器与仪器仪表的技术以及产品,经过发展,有了较大的提高。全国已经有1600多家企事业单位从事传感器与仪表元器件的研制、开发、生产。但是和国外相比,我国传感器与仪表元器件的产品品种和质量水平,尚不能满足国内市场的需求,总体水平还处于国外上世纪90年代初期的水平。存在的主要问题有:
(1)科技创新差,核心制造的技术严重滞后在国外,拥有自主知识产权的产品非常少,品种不全,产品技术水平和国外相差15年左右。
(2)投资强度偏低,科研设备以及生产工艺装备落后,成果水平低,产品质量差。
(3)科技和生产脱节,影响科研成果的转化,综合实力较低,产业发展后劲不足。
战略目标
我们计划到2020年,传感器及仪表元件领域可以争取实现三大战略目标:
就以工业控制、汽车、通讯、环保为重点服务领域,以传感器、弹性元件、光学元件、专用电路为重点对象,发展具有自主知识产权的原创性技术以及产品;
以MEMS工艺为基础,以集成化、智能化与网络化技术为依托,加强制造工艺与新型传感器还有仪表元器件的开发,使主导产品达到和接近国外同类产品的先进水平;
用来增加品种、提高质量与经济效益为主要目标,加速产业化,使得国产传感器和仪表元器件的品种占有率达到70%~80%,高档产品达60%以上。
发展重点
传感器技术
(1)MEMS工艺与新一代的固态传感器微结构制造工艺:深度反应离子刻蚀(DRIE)工艺还有IGP工艺;封装工艺:例如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型称重传感器:例如用微硅电容传感器、微硅质量流量传感器、航空航天用动态传感器、微传感器,汽车专用压力、加速度传感器,环保用微化学 传感器等。
(2)集成工艺以及多变量复合传感器微结构集成制造工艺;工业控制使用多变量复合传感器,例如说:压力、静压、温度三变量传感器,气压、风力、温度、湿度四变量传感器,微硅复合应变压力传感器,陈列传感器。
(3)称重传感器智能化技术与智能传感器信号有线或者无线探测、变换处理、逻辑判断、功能计算、双向通讯、自诊断等智能化技术;智能多变量传感器,智能电量传感器以及各种智能传感器、变送器。
(4)网络化技术与网络化传感器传感器网络化技术;网络化传感器,使用称重传感器具有工业化标准接口以及协议功能。
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