压力传感器应用的领域是很广泛,一般选择压力传感器的时候我们需要考虑他的综合精度,而压力传感器的精度受哪些方面的影响呢?或者说什么原因会造成传感器的误差呢?其实形成传感器误差的因素有许多,下面我们注意说四个无法避免的误差,这是传感器的初始误差。
第一的偏移量误差:因为压力传感器在整个压力范围内垂直偏移保持恒定,所以变换器扩散与激光调节修正的变化将产生偏移量误差。 第二是灵敏度误差:产生误差大小与压力成正比。假如设备的灵敏度高于典型值,灵敏度误差将是压力的递增函数。如果灵敏度低于典型值,那么灵敏度误差将是压力的递减函数。该误差的产生原因在于扩散过程的变化。 第三点是线性误差:这是一个对压力传感器初始误差影响较小的因素,这种误差的产生原因就是在于硅片的物理非线性,不过对于带放大器的传感器,还应该包括放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹形曲线,也可以是凸形曲线称重传感器。第四是滞后误差:在大多数情形中,压力传感器的滞后误差完全可以忽略不计,所以硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。
压力传感器的这个四个误差是无法避免的,我们只能选择高精度的生产设备,利用高新技术来降低这些误差,还可以在出厂的时候进行一点的误差校准,尽最大的可能来降低误差以满足客户的需要。
|