|
压力传感器我们用得很多，经常会发现压力传感器使用一段时间就会有漂移现象。是什么原因导致压力传感器漂移的呢？我们在设计的时候怎么才可以消除压力传感器漂移呢？
压力传感器发展的初期，扩散硅芯片与金属基座之间用玻璃粉封接，缺点就是压力芯片的周围存在着较大的应力，即使经过退火处理，应力也不能完全消除。当温度发生变化时，由于金属、玻璃与扩散硅芯片热澎胀系数的不同，会产生热应力，使传感器的零点发生漂移。这就是为什么传感器的零点热漂移要比芯片的零点热漂移大得多的原因。采用银浆与接线柱焊接，处理不好，容易造成接点电阻不稳定。特别就是在温度发生变化时，接触电阻更易变化，这些因素是造成传感器零点时漂、温漂大的原因。
如果需要消除压力传感器偏移我们可以金硅共熔焊接方法，把扩散硅与基座之间采用金硅共熔封接，由于金比较软应力小，引压管是玻璃管将之烧结到硅环上，玻璃管与底座用高温胶粘接，为了测表压，在玻璃管外粘接一金属管，通到大气中。扩散硅电阻条组成惠斯登电桥，用在高掺杂的方法形成导电书，将电桥与分布在周边的铝电极可靠地连接起来，而不采用通常蒸铝，反刻形成铝带的方法，这样做有助于减小传感器的滞后，铝电极和接线柱之间用金丝压焊与超声焊，使得接点处的电阻比较稳定。
|
