我们国家的压力传感器市场主要就是工业自动化控制领域,以及汽车领域。在工控领域里现在我国绝大部份采用扩散硅压力传感器、应变片式压力传感器以及溅射薄膜压力传感器,然而国内厂家生产面广量大的就是扩散硅压力传感器。就在国内,西安市也是我国笫二个五年计划里重点发展压力系列传感器的重要城市,陕西宝鸡市在省会城市西安的带动下,在原秦岭晶体管厂进行技术改造,以及美国霍尼伟尔公司合作成立麦克传感器公司,为我国扩散硅压力传感器生产开创了先河。不过MEMS技术和前道硅片制造技术仍控制在外国厂家手里。
进入九十年代,国际上MEMS技术才有了长足的发展,硅片定向微机电加工精度以及成品率不断提高,加上离子注入技术的发展使扩散硅压力传感器从技术上有了可靠保证,成本也有所下降。就在许多应用领域里,扩散硅压力传感器还必须和充油蕊体配套,这又使得它的售价大幅度上升。这些原因无疑在一定程度上促进了国内压力传感器市场的兴盛。
在国外,压阻式陶瓷压力传感器以其高可靠性,抗腐蚀、优良的线性精度以及低成本开始逐渐替代扩散硅压力传感器,这也会是必然的发展趋势。国家科技部马颂德副部长在2005年底视察无锡时,对此作了充分肯定。
瑞士Metallux公司,除此以外德国WIKA公司和韩国Greensensor公司也生产陶瓷压力传感器,他们都看好中国市场。在具体的传感器设计理念双方的立场有不同的地方,这是正常现象,因为理论始终有待于实践提升。
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